1920-12
横河 一郎、青木 晋の両名により東京府渋谷町に設けられていた電気計器の研究所を母体として、資本金50万円で㈱横河電機製作所を設立し、電気計測器の研究と製造を開始。
1935-06
吉祥寺工場（現在の武蔵野本社内）完成。
1948-09
株式を一般に公開。
1955-06
The Foxboro Company（アメリカ）と工業計器に関する技術援助契約を締結。
1957-10
米国に Yokogawa Electric Works, Inc.(現連結子会社 Yokogawa Corporation of America）を設立。
1970-04
製品の保守・点検・修理を目的として横河鹿島サービス㈱、横河京浜サービス㈱、横河千葉サービス㈱（現連結子会社 横河ソリューションサービス㈱）を設立。
1974-03
シンガポールに Yokogawa Electric Singapore Pte. Ltd.（現連結子会社 Yokogawa ElectricAsia Pte. Ltd.）を設立。
1974-07
甲府工場（現連結子会社 横河マニュファクチャリング㈱ 甲府工場）竣工、操業開始。
1975-06
総合計装制御システム（CENTUM）を発表、発売。
1982-09
オランダで Electrofact B.V.（現連結子会社 Yokogawa Europe B.V.）を買収。
1983-04
㈱北辰電機製作所と合併し、商号を横河北辰電機㈱に変更。
1986-10
商号を横河電機㈱に変更。生産拠点統合計画(分散している生産拠点を統合し、生産設備の強化と効率化を図る計画)を完了。
1989-04
三鷹工業㈱と合併。
1992-12
統合生産制御システム（CENTUM CS）を発表。
1994-04
小峰工場（現連結子会社 横河マニュファクチャリング㈱ 小峰工場）竣工、操業開始。
1996-10
汎用測定器の製造・販売を目的として、横河エムアンドシー㈱（現連結子会社 横河計測㈱）を設立。
2001-04
生産系の国内子会社5社を統合し、横河エレクトロニクス・マニファクチャリング㈱（現連結子会社 横河マニュファクチャリング㈱ ）が発足。
2002-10
株式交換により安藤電気㈱の株式を100％取得。中国に地域統括会社として100％独資の「横河電機(蘇州)有限公司」を設立。
2003-10
中国地域統括会社「横河電機(蘇州)有限公司」の本社・工場が竣工、生産開始。
2005-04
シンガポールに海外市場（除く極東）を統括するYokogawa Electric International Pte. Ltd.を設立。
2006-01
中国に、販売・マーケティング・エンジニアリング・サービスなどの機能を統括する100％独資の横河電機(中国)商貿有限公司を設立。
2006-01
ライフサイエンス事業部の戦略拠点として金沢事業所を開設。
2008-03
横河電機(西安)有限公司、上海横河石化自控有限公司、横河電機(中国)商貿有限公司の業務を統合し、中国における事業統括会社、横河電機(中国)有限公司を設立。
2010-04
横河電機㈱の測定器ビジネスを横河メータ＆インスツルメンツ㈱（現連結子会社 横河計測㈱）に移管統合。
2013-04
国内制御事業の販売、エンジニアリング、サービス部門を事業分割し、子会社2社と統合し、横河ソリューションサービス㈱が発足。
2015-09
創立100周年。
2024-06
「YOKOGAWAコーポレートガバナンス・ガイドライン」制定。KBC Advanced Technologies plc（本社:英国 現連結子会社 KBC Advanced Technologies Limited）を買収。中期経営計画「Accelerate Growth 2023 (AG2023)」を発表。中期経営計画「Growth for Sustainability 2028 (GS2028)」を発表。指名委員会等設置会社に移行。
