1958-08
真空ポンプ及び真空装置の製造及び販売を目的として、神奈川県川崎市中原区宮内688番地に昭和眞空機械株式会社（資本金50万円）を設立。
1960-03
水晶振動子用真空蒸着装置の第1号機完成。
1961-07
光学用真空蒸着装置の第1号機完成。
1971-12
本社・工場を神奈川県相模原市大野台二丁目27番2号に移転する。
1974-08
水晶振動子用周波数調整全自動真空蒸着装置「ＳＣ－6ＳＡ」を完成。
1975-09
営業部門を分離独立させ株式会社昭和眞空を神奈川県相模原市に設立。（出資比率50％）
1977-09
機械加工部門を分離独立させ昭和精工株式会社を神奈川県相模原市に設立。（出資比率 当社25％、株式会社昭和眞空25％）
1978-04
日本真空技術株式会社（現株式会社アルバック）と技術提携を主とした業務提携契約を結ぶ。
1978-06
効率的な組織運営を図るため、株式会社昭和眞空を吸収合併する。
1978-06
社名を昭和眞空機械株式会社より、株式会社昭和眞空に変更する。
1981-03
日本真空技術株式会社（現株式会社アルバック）より資本参加を受ける。（同社の当社に対する出資比率35.7％）
1981-06
大野台工場内にＣ棟（883.83㎡）を新築する。
1983-09
神奈川県相模原市上溝に上溝工場(739.35㎡)を新築する。
1984-11
水晶振動子周波数調整用真空蒸着装置「ＳＦＣ－71Ｍ」が第1回神奈川工業技術開発大賞を受賞する。
1986-07
神奈川県相模原市大野台に大野台第二工場（2,534.25㎡）を新築する。
1994-11
ミニインライン方式高周波・高精度水晶調整装置「ＳＲＣ－01」が第11回神奈川工業技術開発大賞奨励賞を受賞する。
1995-08
昭和精工株式会社を100％子会社化。
1995-12
水晶用ベース電極膜付用スパッタ装置「ＳＰＨ－2500」を完成。
1996-05
ＭＣＦ用インライン方式水晶周波数調整装置「ＳＲＭ－2111Ｃ」を完成。
1997-02
社名を株式会社昭和眞空より、株式会社昭和真空に変更する。
1997-03
日本真空技術株式会社（現株式会社アルバック）との技術提携を主とした業務提携契約を解除し、新たに中華人民共和国における営業活動及び宣伝広告、展示会出展に関する業務契約を締結。
1997-04
韓国法人明成真空株式会社と水晶振動子周波数調整用真空蒸着装置「ＳＣ－6ＳＡＫ」の製造に関する技術契約を締結。
1999-04
日本真空技術株式会社（現株式会社アルバック）と既存業務契約を解除し、新たに商標使用及び業務の相互協力に関する覚書を締結。
1999-11
事業の集中、効率化を図るため、昭和精工株式会社を吸収合併し、機械加工部新設。
1999-11
神奈川県相模原市に南橋本第一工場（602.73㎡）、南橋本第二工場（490.60㎡）を新設。
2000-05
神奈川県相模原市に新開工場（1,365.28㎡）を新設。
2000-12
神奈川県相模原市に小町工場（2,112.39㎡）を新設。
2000-12
日本証券業協会に株式を店頭上場。
2001-03
神奈川県相模原市に工場用地（21,489.09㎡）を購入。
2002-02
新開工場（1,365.28㎡）を閉鎖。
2002-03
南橋本第二工場（490.60㎡）を閉鎖。
2002-08
中国に昭和真空機械（上海）有限公司を設立。
2002-12
米国トランサット社より周波数調整装置に関する知的財産権を取得。
2003-08
中国に昭和真空機械貿易（上海）有限公司を設立。
2003-12
有機ＥＬ素子評価用蒸着装置「ＳＥＣ－08Ｃ」を開発。
2004-03
神奈川県相模原市に相模原工場（工場2,033㎡、事務棟1,452㎡）を新築。 年月事項
2004-04
700千株の公募増資実施。（資本金21億36百万円）
2004-05
ＲＦ直接印加式光学用真空蒸着装置「ＳＧＣ－1300Ｒ」を開発。
2004-06
南橋本第一工場（602.73㎡）及び小町工場（2,112.39㎡）を閉鎖。
2004-07
水晶デバイス電極膜形成用スパッタ装置「ＳＰＨ－2710」を開発。
2004-10
神奈川県相模原市に株式会社ＳＰＴを設立。
2004-10
相模原工場にクリーンルーム棟（2,479㎡）を新築。
2004-12
日本証券業協会への店頭登録を取消し、ジャスダック証券取引所（現東京証券取引所スタンダード市場）に株式を上場。
2004-12
大野台第二工場に事務棟（831㎡）を新築。営業部門を移転。
2005-01
相模原工場に事務厚生棟及び研究開発棟（2,956㎡）を新築し本社を移転。
2006-01
超小型水晶デバイス用周波数調整装置「ＳＦＥ－6430（バッチタイプ）」及び「ＳＦＥ－Ｘ03Ｗ（インラインタイプ）」を開発。
2006-06
経済産業省から「明日の日本を支える元気なものづくり中小企業300社」の一社に認定される。
2006-08
株式会社エフ・イー・シーの全株式を取得し子会社化。
2007-05
上溝工場の機能を大野第一工場に移転し、大野台パーツセンターに名称変更。
2007-10
大阪府茨木市に西日本カスタマーサポートセンターを開設。
2008-04
設立50周年式典を東京ディズニーランドで開催。
2008-09
水晶ベース用スパッタリング装置「ＳＰＣ－1000Ｗ」及びＡＲスパッタリング装置「ＳＰＳ－208ＣＷ」を開発。
2010-04
株式会社ＳＰＴを吸収合併。
2011-11
水晶デバイス用周波数調整装置が「九都県市のきらりと光る産業技術」を受賞。
2012-03
大野台第二工場・営業所を売却。営業部門は本社・相模原工場へ移転。
2012-10
ＬＥＤデバイス向け電極形成用スパッタリング装置「ＳＰＣ－4515ＬＤ」を開発。
2014-02
富士見物件（土地・建物）を売却。
2014-11
水晶振動子用周波数調整装置「ＳＦＥ-Ｂ03」が第31回神奈川工業技術開発大賞ビジネス賞を受賞。
2015-06
北陸サービスセンターを開設。
2016-06
光学薄膜用ＡＬＤ装置「Ｇｅｎｅｓｉｓ－ＡＲ Ｓｅｒｉｅｓ」を開発。
2016-11
光学薄膜用スパッタリング装置「ＡＸＩＳ－Ｓｅｒｉｅｓ」を開発。
2018-02
大野台パーツセンターを売却。
2018-10
東北サービスセンターを開設。
2018-12
経済産業省から「地域未来牽引企業」に選定される。
2020-02
相模原工場に研究開発棟（1,486㎡）を新築。
2020-06
経済産業省認定「グローバルニッチトップ企業100選」に選定される。
2022-04
東京証券取引所市場区分見直しにより、ＪＡＳＤＡＱ（スタンダード）からスタンダード市場へ移行。
2025-03
経済産業省と日本健康会議が共同で選定する「健康経営優良法人2025（中小規模法人部門）」に認定される。
2025-09
北陸サービスセンターを閉鎖。
2026-03
東北サービスセンターを閉鎖。
