1990-10
本社を東京都新宿区から神奈川県横浜市緑区（現 都筑区）に移転。1991年
1990-01
東京エレクトロン株式会社が株式会社テル・データ・システムから当社株式をすべて取得。
1996-10
東京エレクトロン株式会社から電子部品部門の富士通社製品販売事業を譲受け。
1997-10
東京エレクトロン株式会社から電子部品部門のモトローラ社製品販売事業を譲受け。1998年
1997-07
東京エレクトロン株式会社から電子部品部門に関する事業を全て譲受け。 東京エレクトロン株式会社から岩手県江刺市、東京都府中市及び山梨県韮崎市の設計開発センターを業務移管。2003年
1997-03
東京証券取引所市場第二部に上場。2005年
1997-01
香港に現地法人TOKYO ELECTRON DEVICE HONG KONG LTD.（現 TOKYO ELECTRON DEVICE ASIA PACIFIC LTD.）を設立。
2006-10
東京エレクトロン株式会社から吸収分割によりコンピュータ・ネットワーク事業を承継。2008年
2006-01
シンガポールに現地法人TOKYO ELECTRON DEVICE SINGAPORE PTE. LTD.を設立。2008年
2006-02
神奈川県横浜市都筑区にパネトロン株式会社を設立。 2008年
2006-08
本社及びパネトロン株式会社を神奈川県横浜市都筑区から神奈川区に移転。 エンジニアリングセンターを神奈川県横浜市都筑区に開設。
2010-11
神奈川県横浜市都筑区に横浜港北物流センターを開設。
2010-12
東京証券取引所市場第一部銘柄に指定。2012年
2010-04
当社子会社であるパネトロン株式会社が株式会社アムスクからテキサス・インスツルメンツ社製品に係る販売代理店事業を譲受け。2012年
2010-08
上海に現地法人TOKYO ELECTRON DEVICE (SHANGHAI) LTD.を設立。2013年
2010-09
サンノゼに現地法人inrevium AMERICA, INC.（現 TOKYO ELECTRON DEVICE AMERICA, INC.）を設立。2014年
2010-04
当社株式売出しにより東京エレクトロン株式会社が当社の親会社からその他の関係会社に変更。2014年
2010-09
東京都新宿区に新宿サポートセンターを開設。2015年
2010-08
バンコクに現地法人TOKYO ELECTRON DEVICE (THAILAND) LIMITEDを設立。2016年
2010-04
サニーベールに現地法人TOKYO ELECTRON DEVICE CN AMERICA, INC.（現 TOKYO ELECTRON DEVICE AMERICA, INC.）を設立。2017年
2010-01
現地法人inrevium AMERICA, INC.（現 TOKYO ELECTRON DEVICE AMERICA, INC.）をサンノゼからフリーモントに移転。2017年
2010-07
株式会社アバール長崎（現 東京エレクトロン デバイス長崎株式会社）の株式取得により同社を連結子会社化。2018年
2010-07
パネトロン株式会社を吸収合併。 株式会社ファーストの株式取得により同社を連結子会社化。2019年
2010-05
TOKYO ELECTRON DEVICE AMERICA, INC.がTOKYO ELECTRON DEVICE CN AMERICA, INC.を吸収合併。2022年
2010-04
東京証券取引所の市場区分の見直しにより市場第一部からプライム市場へ移行。
2023-10
日本エレクトロセンサリデバイス株式会社からウェーハ検査装置事業を譲受け。
2024-10
本社を神奈川県横浜市神奈川区から東京都渋谷区に移転。2025年
2024-01
株式会社ファーストを吸収合併。
