1985-01
広島県福山市曙町一丁目121番地の1に株式会社アドテックを設立（資本金4,300千円） 各種コントロール基板の開発製造
1990-05
本社を広島県福山市曙町一丁目121番地の1から広島県福山市引野町五丁目6番10号（現在地）に移転
1990-07
半導体製造装置プロセスコントロール用ＣＰＵユニット・アナログユニット開発
1991-02
半導体プロセス用のプラズマ用高周波電源販売開始 半導体プロセス用の自動インピーダンス整合装置（マッチングユニット）販売開始
1995-04
大阪営業所を大阪府大阪市中央区に開設
1996-04
東京営業所を東京都千代田区に開設
1996-06
カスタマーサポートセンターを広島県福山市に開設
1996-08
Adtec Technology, Inc.（現 連結子会社）を米国カリフォルニア州ミルピタス市（現フリーモント市）に設立
1996-11
大阪営業所を大阪府大阪市浪速区に移転
1997-03
ビジュアルマッチングユニットＡＭＶシリーズ販売開始
1998-03
大阪営業所を閉鎖
1999-10
パーツセンターを広島県福山市に開設
1999-11
米国装置メーカーへの装置標準化採用が決定し、プラズマ用高周波電源7.5Ｋｗを開発・販売開始
2000-05
テクニカルセンターを広島県福山市に開設
2000-08
Adtec Europe Limited（現 連結子会社）を英国ロンドン市ハウンスロウ区に設立
2000-12
商号を株式会社アドテックから株式会社アドテック プラズマ テクノロジーに変更
2001-04
東京営業所を神奈川県横浜市港北区に移転（現 神奈川県川崎市に移転）
2003-01
デザインセンターを広島県福山市に開設
2003-05
ISO9001：2000認証取得（本社、パーツセンター、テクニカルセンター、デザインセンター） （プラズマ用高周波電源、インピーダンス整合装置及び高周波電力測定装置の設計、製造）
2004-07
東京証券取引所マザーズ市場に株式を上場
2004-12
株式会社IDX（現 連結子会社）を株式取得により子会社化
2005-01
イノベーションセンターを広島県福山市に開設
2011-05
Phuc Son Technology Co., Ltd.（現 連結子会社）をベトナムバクニン省バクニン市に設立 Hana Technology Co., Ltd.（現 連結子会社）を韓国京畿道富川市に設立
2014-08
AD Technology Limited（現 連結子会社）を台湾新竹縣竹北市に設立
2015-01
東京証券取引所市場第二部へ上場市場を変更
2016-04
SUZHOU CUIZHUO DIANZI LIMITED（現 連結子会社）を中国江蘇省蘇州市に設立
2018-02
東京テクニカルセンターを神奈川県横浜市西区に移設
2019-12
Phuc Son Technology Co., Ltd.（ベトナム）がバクニン省バクニン市に本社工場を新築移転
2022-04
東京証券取引所の市場区分の見直しにより、東京証券取引所の市場第二部からスタンダード市場に移行
2022-06
Hana Technology Co., Ltd.からADTEC Plasma Technology Korea Co., Ltd.へ商号を変更
2022-08
Adtec Healthcare Limited（現 持分法適用関連会社）を英国ロンドン市に設立 AD Technology LimitedからADTEC Plasma Technology Taiwan Ltd.へ商号を変更
2022-09
Phuc Son Technology Co., Ltd.からADTEC Plasma Technology Vietnam Co., Ltd.へ商号を変更
2022-11
SUZHOU CUIZHUO DIANZI LIMITEDからADTEC Plasma Technology China Ltd.へ商号を変更
2025-06
Adtec Healthcare Limitedの第三者割当増資に伴い持分比率が低下したため、同社は当社の連結子会社から持分法適用関連会社へ異動
