1960-07
東京都目黒区において当社の前身である㈲東京ITV研究所を設立X線テレビジョンカメラの開発、設計、製造を開始
1962-08
資本金1,000千円で日本自動制御㈱を設立
1963-08
神奈川県川崎市木月へ本社を移転
1965-11
神奈川県川崎市北加瀬へ本社を移転
1971-05
磁気テープ走行中のテンションを測定する「テンションアナライザー」を開発
1975-02
LSIのフォトマスクのピンホールを発見する「フォトマスク・ピンホール検査装置」を開発
1975-04
「顕微鏡自動焦点装置」を開発
1976-10
LSIのマスクパタン欠陥を自動検査する「フォトマスク欠陥検査装置」を世界で初めて開発
1980-04
神奈川県横浜市港北区綱島東へ本社を移転
1985-06
「カラーレーザー顕微鏡」を開発
1986-06
商号を「レーザーテック株式会社」に変更
1986-07
子会社㈱レーザーテック研究所を東京都港区に設立
1986-12
Lasertec U.S.A., Inc.（現連結子会社）を米国カリフォルニア州サンノゼ市に設立
1987-06
子会社レーザーテック販売㈱を東京都港区に設立
1989-07
㈱レーザーテック研究所及びレーザーテック販売㈱を吸収合併
1990-12
日本証券業協会に店頭売買銘柄として株式を登録
1993-07
LCD（液晶ディスプレイ）の突起欠陥等を検査し、修正する「カラーフィルター欠陥検査装置」及び「カラーフィルター欠陥修正装置」を開発
1994-11
位相シフトマスクの位相シフト量を測定する「位相シフト量測定装置」を開発
1996-12
フォトマスクに装着されているペリクル及びフォトマスクの裏面に付着した異物を検査する「ペリクル面異物検査装置」を開発
1998-08
半導体ウェハ上の欠陥をマルチビームレーザーコンフォーカル光学系を利用して検査する「ウェハ欠陥検査装置」を開発
2000-02
フォトマスクの「マスクブランクス欠陥検査装置」を開発
2001-02
Lasertec Korea Corp.（現連結子会社）を韓国ソウル市に設立
2004-12
ジャスダック証券取引所（現 東京証券取引所JASDAQ（スタンダード））に株式を上場（
2012-05
上場廃止）
2008-03
神奈川県横浜市港北区新横浜へ本社を移転
2009-05
太陽電池の変換効率分布を可視化する「太陽電池変換効率分布測定機」を開発
2010-06
Lasertec Taiwan, Inc.（現連結子会社）を台湾新竹県竹北市に設立
2012-03
東京証券取引所市場第二部に株式を上場
2013-03
東京証券取引所市場第一部銘柄に指定を受ける2017年
2013-04
世界で初めてEUV光(波長13.5nm)を用いた「EUVマスクブランクス欠陥検査/レビュー装置」を開発
2017-06
Lasertec China Co., Ltd.（Lasertec Taiwan, Inc.の100%子会社）を中国上海市に設立2019年
2017-09
世界で初めてEUV光(波長13.5nm)を用いた「アクティニックEUVパターンマスク欠陥検査装置」を開発
2019-11
Lasertec Singapore Pte. Ltd.（現連結子会社）をシンガポールに設立
2022-04
東京証券取引所の市場区分の見直しにより、市場第一部からプライム市場に移行
2023-07
新研究開発拠点「Lasertec Innovation Park（通称：InnoPa）」の稼働を開始
