2000-10
山梨県北巨摩郡小淵沢町（現 山梨県北杜市小淵沢町）に創業者の研究成果を世の中に還元することを目的として株式会社オキサイドを設立
2001-05
Super LN/LT新製品開発に成功 国際展示会で販売開始
2003-09
東芝セラミックス株式会社（現 クアーズテック株式会社）と資本・業務提携
2005-06
本社及び第1工場を山梨県北杜市武川町（現所在地）に移転
2005-12
三菱電線工業株式会社より光デバイス事業買収
2006-06
株式会社ニコンと資本・業務提携
2006-08
米国KLA-Tencor Corporation（現 KLA Corporation）と資本・業務提携
2007-10
エヌ・ティ・ティ・アドバンステクノロジ株式会社と資本・業務提携
2008-03
山梨県北杜市に第2工場竣工
2008-10
第1・2工場が、ISO9001認証取得
2008-12
レーザーテック株式会社と資本提携
2010-09
株式会社マグネスケールよりレーザ事業買収
2010-10
神奈川県横浜市港北区に横浜事業所を設置
2012-04
久保田研究所を設立
2013-02
266nmCWレーザ、ニューラインナップ発売開始
2013-04
光学的ノイズ（スペックルノイズ）測定器であるDr.SPECKLE、ニューラインナップ発売開始
2015-03
日立化成株式会社（現 株式会社レゾナック）よりシンチレータ単結晶事業買収、山梨県北杜市に第3工場取得
2016-06
横浜事業所を神奈川県横浜市保土ヶ谷区（現所在地）に移転
2016-06
国際電気標準会議より、スペックル測定方法の国際標準取得（発行No.IEC 62906-5-2:2016 Laser display devices -Part 5-2）
2016-08
株式会社日立ハイテクノロジーズ（現 株式会社日立ハイテク）と資本・業務提携
2018-08
米国Lumeras LLCから真空紫外レーザ事業買収
2019-06
デンマークNKT Photonics A/Sとフェムト秒レーザの開発・製造で業務提携
2020-02
LASEA S.A.とレーザ微細加工機の販売で業務提携
2020-04
久保田研究所をレーザ事業部に統合
2021-04
東京証券取引所マザーズに株式を上場
2021-10
株式会社UJ-CrystalとSiC単結晶の量産化に向けた研究開発で資本業務提携
2022-03
山梨県北杜市に第6工場取得
2022-04
東京証券取引所の市場区分の見直しにより、同取引所グロース市場に移行
2022-05
LQUOM株式会社と長距離量子通信機器の実用化に向けた研究開発で資本業務提携
2022-06
株式会社日立ハイテクとの資本提携は解消（業務提携は継続）
2023-03
Raicol Crystals Ltd.（イスラエル）を子会社化
2023-03
山梨県北杜市に第4工場（第1期工事）と第5工場竣工
2024-10
株式会社オキサイドパワークリスタルを設立（現連結子会社）
2024-10
株式会社JSファンダリとSiC単結晶の量産化に向けた製造で業務提携
2026-02
Raicol Crystals Ltd.の全株式及び貸付債権をIsrael Special Material Platform LP へ譲渡
