1952-08
各種真空装置の輸入販売を目的として、日本真空技術株式会社（資本金6百万円）を創業。
1955-04
大森工場を新設し、国産装置の製造に着手。
1956-11
株式会社東洋精機真空研究所を合併し、尼崎工場として真空化学装置及び真空ポンプ等の規格品の製造に着手。
1959-04
本社及び大森工場を横浜市に移転。
1961-07
真空技術の基本を応用し、真空冶金事業を開始。
1962-09
真空材料株式会社（商号変更 アルバックマテリアル㈱）を設立、耐火材料の販売を開始。
1962-10
熱分析機器の専門メーカーとして真空理工株式会社（現・アドバンス理工㈱）を設立。
1963-10
新生産業株式会社（ 1929年9月20日創立）に吸収合併されると共に、同日社名を日本真空技術株式会社と改称し、旧日本真空技術株式会社の事業内容を継続。
1964-01
外国事業部リライアンス部を分離し、米国Reliance Electric and Engineering Co.と共同出資で日本リライアンス株式会社（現・㈱ＲＥＪ）を設立。
1964-07
香港万豊有限公司と共同出資で合弁会社Hong Kong ULVAC Co.,Ltd.を設立。
1966-04
真空冶金事業部を分離し、真空冶金株式会社を設立。
1968-05
本社及び横浜工場を茅ヶ崎市に移転。
1970-07
専売特約店の三和アルバック販売株式会社（商号変更 アルバック東日本㈱）を設立。
1971-07
小型真空ポンプの専門メーカーとして真空機工株式会社（現・アルバック機工㈱）を設立。
1972-07
超材料研究所を千葉県に新設。
1975-12
対米輸出の拠点として北米に現地法人ULVAC North America Corp.(現・ULVAC Technologies, Inc.)を設立。
1977-01
九州地区の営業活動の拡大のために九州アルバック株式会社（商号変更 アルバック九州㈱）を設立。
1979-01
サービス事業部を分離し、アルバックサービス株式会社を設立。SI事業部を分離し、アルバック成膜株式会社を設立。
1981-10
米国Helix Technology Corp.と共同出資でアルバック・クライオ株式会社を設立。
1982-01
台湾台北市にULVAC TAIWAN Co.,Ltd.（現・ ULVAC TAIWAN INC.）を設立。
1982-11
米国The Perkin Elmer Corp.と共同出資でアルバック・ファイ株式会社を設立。
1982-12
茨城県筑波学園都市（現つくば市）市内に筑波超材料研究所を設立。
1983-02
中国北京市に北京事務所を開設。
1985-03
核融合臨界プラズマ実験装置「JT-60」の真空排気系を納入。
1985-04
関西の拠点工場としてアルバック精機株式会社を設立。
1987-01
大型装置の生産体制強化のため、青森県八戸市に東北真空技術株式会社（商号変更 アルバック東北㈱）を設立。
1987-02
欧州地区のサービス体制強化のため、西独にULVAC GmbHを設立。
1987-05
グループ会社支援のため、株式会社アルバック・コーポレートセンターを設立。
1987-09
英文社名をULVAC JAPAN,Ltd.と変更。
1988-10
真空ポンプの量産体制確立のため、鹿児島に九州真空技術株式会社を設立。
1990-05
半導体製造装置の生産体制強化のため静岡県裾野市に富士裾野工場を新設。
1991-12
九州真空技術㈱がアルバック精機㈱を合併し、アルバック精機㈱に商号変更。
1992-04
資本金12億10百万円より38億30百万円に増資。
1992-06
資本金38億50百万円に増資。
1994-10
アルバックサービス㈱がアルバックマテリアル㈱を合併し、アルバックテクノ㈱に商号変更。
1995-05
韓国ソウル市に、ULVAC KOREA,Ltd.を設立。
1995-09
中国に寧波中策動力機電集団有限公司と合弁で寧波愛発科真空技術有限公司を設立。
1996-11
真空装置の生産能力拡充のため、東北真空技術㈱、アルバック九州㈱鹿児島事業所にクリーン工場を増設。 年月主要事項
1998-01
シンガポールCSセンター、台湾新竹R&Dセンターを開設し、アジアのネットワークを拡大。
2000-04
台北五股サービスセンターを開設。
2000-08
ULVAC KOREA,Ltd.に生産工場として平澤工場を設置。
2001-05
寧波愛発科真空技術有限公司に新工場を設置。
2001-07
株式会社アルバック（英文社名ULVAC,Inc.）に商号変更。
2001-11
カスタマーサポート強化のためULVAC TAIWAN INC.桃園CIP工場を設置。
2002-01
カスタマーサポート体制の充実のためULVAC SINGAPORE PTE LTDを設立。
2002-07
アルバック東日本㈱が高山アルバック㈱を合併し、アルバック イーエス㈱（現・アルバック販売㈱）に商号変更。
2002-12
米国Physical Electronics USA,Inc.が保有するアルバック・ファイ㈱株式（50％）を取得し、100％子会社化。
2003-03
米国RELIANCE ELECTRIC COMPANYより日本リライアンス㈱株式（31％）を取得し、持分を81％に引き上げ。
2003-05
アルバック東北㈱、アルバックテクノ㈱、UMAT㈱による機械加工、表面処理、精密洗浄の一貫工場を東北に設置。
2003-07
中国における本格的生産工場とCSソリューション工場として愛発科真空技術（蘇州）有限公司を設立。
2003-08
工業用インクジェット装置を製造・販売しているLitrex Corporationの株式50％を取得。
2004-04
東京証券取引所市場第1部に株式を上場。資本金38億50百万円より81億円に増資。
2004-05
資本金81億円より89億50百万円に増資。
2004-07
韓国にULVAC KOREA,Ltd.とアルバック東北㈱が共同出資で大型基板真空用部品の製造を目的としたUlvac Korea Precision,Ltd.を設立。韓国にULVAC KOREA,Ltd.と真空冶金㈱が共同出資で成膜装置用部品の表面処理を目的としたPure Surface Technology,Ltd.を設立。
2004-08
中国に日本リライアンス㈱、啓電実業股份有限公司と共同出資で制御盤及び自動制御駆動装置の製造、販売を目的とした愛発科啓電科技（上海）有限公司（現・愛発科自動化科技（上海）有限公司）を設立。
2004-12
資本金89億50百万円より134億68百万円に増資。
2005-01
中国にアルバック機工㈱と江蘇宝驪集団公司と共同出資で真空ポンプ用部品の製造、販売を目的とした愛発科天馬電機（靖江）有限公司を設立。中国に沈陽中北真空技術有限公司と共同出資で真空炉の製造、販売を目的とした愛発科中北真空（沈陽）有限公司を設立。成都東方愛発科真空技術有限公司を子会社化し、愛発科東方真空（成都）有限公司に商号変更。
2005-04
真空冶金㈱がUMAT㈱を合併し、アルバックマテリアル㈱に商号変更。フラットパネルディスプレイ事業拡大のため、富士通ヴィエルエスアイ㈱より設備事業譲受。
2005-06
ULVAC KOREA,Ltd.に生産拡大のため玄谷工場を増設。アルバック機工㈱宮崎事業所に小型真空ポンプの評価、検証を目的とした信頼性評価センターを設置。
2005-11
英国Cambridge Display Technology Limitedが保有するLitrex Corporation株式（50％）を取得し100％子会社化。タイに販売やフィールドサポートを目的としたULVAC (THAILAND) LTD.を設立。
2005-12
台湾にフラットパネルディスプレイ製造装置などの製造を目的としたULVAC TaiwanManufacturing Corporationと、部品加工や部品洗浄などフィールドサポートを目的としたULTRA CLEAN PRECISION TECHNOLOGIES CORP.を設立。
2006-03
中国における子会社の管理統括等を目的とした愛発科（中国）投資有限公司を設立。
2006-04
台湾に制御盤等の製造を目的としたULVAC AUTOMATION TAIWAN Inc.を設立。
2006-07
韓国に研究開発を目的としたULVAC Research Center KOREA，Ltd.を設立。 台湾に研究開発を目的としたULVAC Research Center TAIWAN，Inc.を設立。
2006-08
精密ステージを製造・販売しているシグマテクノス㈱の株式（70％）を取得。 マレーシアに販売やフィールドサポートを目的としたULVAC MALAYSIA SDN.BHD.を設立。 年月主要事項
2006-09
神奈川県茅ヶ崎市に真空装置部品の表面処理を目的とした、アルバックテクノ㈱ケミカルセンターを新設。 宮崎県西都市に小型真空ポンプの生産集約化を目的として、アルバック機工㈱宮崎事業所を増 設。
2006-11
愛知県春日井市にフラットパネルディスプレイ製造装置の生産能力拡充のため、愛知工場を新設。
2007-06
インドビジネス拡大のため、ULVAC,Inc.India Branch.を設立。
2007-09
埼玉県日高市に大型の精密ステージの製造・販売するためシグマテクノス㈱本社工場を新設。
2007-11
啓電実業股份有限公司の持株譲渡に伴い愛発科啓電科技（上海）有限公司を愛発科自動化科技(上海）有限公司に商号変更。
2008-02
開発委託設計を目的としたアルバック ワイ・エム・イー㈱（商号変更 アルバックエンジニアリング㈱）を設立。
2008-07
フィールドサポートを専門とした、アルバックヒューマンリレーションズ㈱を設立。
2008-08
台湾における経営の合理化などを目的としてULVAC TAIWAN INC.を存続会社とし、ULVAC Taiwan Manufacturing Corporationと合併。
2008-08
韓国にスパッタリングターゲットの製造及びボンディングを目的とした、ULVAC Materials Korea,Ltd.を設立。
2008-10
スパッタリングターゲット材の効率的な生産と開発体制の強化を目的として、アルバックマテリアル㈱から当社へ事業を移し、洗浄事業のサポート体制の充実を目的として、アルバックテクノ㈱とアルバック九州㈱へ事業譲渡。
2009-04
中国にスパッタリングターゲットの製造及びボンディングを目的とした、愛発科電子材料（蘇州）有限公司を設立。
2009-04
中国にタッチパネルの製造などを目的とした愛発科豪威光電薄膜科技（深圳）有限公司を設立。
2009-06
ディスプレイ事業を東アジアで機動的に事業展開するため、Litrex Corporationを解散し、当社にて同事業を継続。
2009-12
中国に研究開発を目的とした愛発科（蘇州）技術研究開発有限公司を設立。
2010-01
資本金134億68百万円より208億73百万円に増資。
