補助金 17件
令和５年度中小企業政策推進事業費補助金（成長型中小企業等研究開発支援事業）「蓄電池パッケージの品質向上を実現する、金属箔の連続プラズマ表面改質装置の開発」【一般財団法人金属系材料研究開発センター】
10百万円
経済産業省
令和５年度中小企業政策推進事業費補助金（成長型中小企業等研究開発支援事業） 「診療現場のアンメットニーズを解決し心臓・循環器系疾患の医療を変革する迅速免疫検査法の実用化」【一般財団法人金属系材料研究開発センター】
27百万円
経済産業省
令和５年度中小企業経営支援等対策費補助金（戦略的基盤技術高度化支援事業）（インフラ検査向高精度磁気センサの多品種少量生産に向けたミニマル装置開発と基盤プロセス確立）
27百万円
経済産業省
令和５年度中小企業政策推進事業費補助金（成長型中小企業等研究開発支援事業）「次世代高速通信に向けた先端半導体パッケージ用高機能液状封止材料の開発」【一般財団法人金属系材料研究開発センター】
26百万円
経済産業省
令和５年度中小企業政策推進事業費補助金（成長型中小企業等研究開発支援事業）「ポスト５Ｇ高周波デバイス実現に向けた低コスト高品質の窒化アルミニウム基板成長装置開発」【一般財団法人金属系材料研究開発センター】
38百万円
経済産業省
令和５年度中小企業経営支援等対策費補助金（戦略的基盤技術高度化支援事業）（電解砥粒研磨による次世代半導体製造ライン向け超精密バルブ・継手の高能率加工技術の開発）
22百万円
経済産業省
令和４年度中小企業経営支援等対策費補助金（成長型中小企業等研究開発支援事業）「次世代高速通信に向けた先端半導体パッケージ用高機能液状封止材料の開発」【一般財団法人金属系材料研究開発センター】
44百万円
経済産業省
令和４年度中小企業経営支援等対策費補助金（成長型中小企業等研究開発支援事業）「ポスト５Ｇ高周波デバイス実現に向けた低コスト高品質の窒化アルミニウム基板成長装置開発」【一般財団法人金属系材料研究開発センター】
24百万円
経済産業省
令和４年度中小企業経営支援等対策費補助金（戦略的基盤技術高度化支援事業）（電解砥粒研磨による次世代半導体製造ライン向け超精密バルブ・継手の高能率加工技術の開発）
29百万円
経済産業省
令和４年度中小企業経営支援等対策費補助金（戦略的基盤技術高度化支援事業（ 次世代自動車電動部品向け新規高機能性薄物シート連続製造技術の開発））
25百万円
経済産業省
令和４年度中小企業経営支援等対策費補助金（戦略的基盤技術高度化支援事業）（インフラ検査向高精度磁気センサの多品種少量生産に向けたミニマル装置開発と基盤プロセス確立）
43百万円
経済産業省
令和３年度中小企業経営支援等対策費補助金（戦略的基盤技術高度化支援事業）（インフラ検査向高精度磁気センサの多品種少量生産に向けたミニマル装置開発と基盤プロセス確立）
27百万円
経済産業省
令和３年度中小企業経営支援等対策費補助金（戦略的基盤技術高度化支援事業）（電解砥粒研磨による次世代半導体製造ライン向け超精密バルブ・継手の高能率加工技術の開発）
42百万円
経済産業省
令和３年度中小企業経営支援等対策費補助金（戦略的基盤技術高度化支援事業（次世代自動車電動部品向け新規高機能性薄物シート連続製造技術の開発））
37百万円
経済産業省
令和２年度中小企業経営支援等対策費補助金（戦略的基盤技術高度化支援事業（ 次世代自動車電動部品向け新規高機能性薄物シート連続製造技術の開発））
32百万円
経済産業省
ほか 2 件
